白光干涉仪应用案例-镜面金属的粗糙度

一、项目背景：

该样品为镜面不锈钢，测试其表面粗糙度。该样品为镜面不锈钢，测试其表面粗糙度。通过分析表面粗糙度，可以全面评估镜面不锈钢的加工质量和平整度。白光干涉仪具有高分辨率、高重复性和无需真空环境等优点，适用于对高反射表面的精确测量。

图 镜面不锈钢

二、测试方案

采用白光干涉仪进行非接触式三维形貌测量，可获得纳米级精度的表面轮廓数据。测试时需选择合适的放大倍数和扫描范围，确保采样区域具有代表性。白光干涉仪基于垂直扫描干涉原理，利用宽带光源的短相干特性，通过探测干涉信号的包络极值来确定表面高度信息，从而实现高精度的三维重建。该技术特别适用于光滑或微结构表面的测量。

三、数据分析

图2 三维形貌图

表面粗糙度为 11.68nm。

四、结论

本次使用白光干涉仪对镜面不锈钢样品进行了表面粗糙度测试，测得其 Ra 值为 11.68 nm，表现出优异的表面光洁度。三维形貌分析结果表明表面平整、无明显缺陷，且多点测量数据重复性高，反映出良好的加工质量与工艺控制水平。该测试方法非接触、精度高，适用于此类高反射、超光滑表面的质量检测。