要点概括


  1. 原理差异:X‑ray 基于电磁波的吸收差异,SAM 基于声波的反射与阻抗差异。

  2. 缺陷识别侧重点:X‑ray 擅长检测密度差异导致的空洞、裂纹等;SAM 则对内部空气层、分层、脱粘等声学界面缺陷更敏感。

  3. 对样品的安全性:X‑ray 可能对电子元件产生辐射影响;SAM 采用非电离超声波,无辐射危害,但需耦合介质。

  4. 实际应用:在半导体封装、PCBA 检测中,两者常被组合使用,以实现缺陷的互补检测,提高整体检出率。

X-ray与SAM原理图


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X-ray仪器介绍及基本原理

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SAM仪器介绍及基本原理

X-ray与SAM参数对比


对比维度

X-ray(X 射线检测)

SAM(超声波检测)

检测原理

高速电子撞击原子产生电磁波,通过物体不同结构对射线的吸收差异形成影像

超声换能器发射高频超声波,利用不同声阻抗界面的反射 / 折射信号构建声学图像

分辨率与精度

可分辨 0.1 毫米及更小线路缺陷,对 BGA 芯片等电子元件检测精度高

擅长多层复合材料分层检测,可识别 0.05 毫米左右微小分层,特定场景精度优于 X-ray

检测速度

相对较快,大面积、简单结构样品初步筛查效率高

相对较慢,超声波传播与信号处理耗时较长

穿透能力

能量高、穿透性强,可穿透多数物质,依材料密度差异实现分辨

穿透能力较弱,高频超声波无法穿透空气,遇空气层会阻断传播

成像模式

以二维投影图像为主,直观呈现物体内部整体轮廓和大致结构

支持 A/B/C/T 扫描等多种模式,可从多角度、多层面提供丰富检测信息

适用范围

电子制造(电路板、芯片封装)、金属材料检测、安检等,侧重内部缺陷和异物快速检测

航空航天复合材料、汽车部件粘结检测、陶瓷质量检测、半导体特殊封装检测等

选择建议


  • 若检测对象为金属、焊点或需要快速筛查的高密度部件,优先选 X‑ray。

  • 若关注多层结构、粘接质量或非金属材料内部的分层缺陷,优先选 SAM。

  • 对于高可靠性要求的电子封装,可采用 X‑ray + SAM 双重检测,实现缺陷全覆盖。