一、项目背景：
该样品为金属薄膜，表面刻有间隙，提高柔韧性，需要准确测量该间隙宽度。为了实现高精度测量，可采用扫描电子显微镜（SEM）对样品表面进行微观形貌观察，结合图像分析软件对刻蚀后的线条边缘进行识别与距离测算。
图1 金属薄膜
二、测试方案
采用扫描电子显微镜（SEM）对样品表面进行微观形貌观察。首先将待测样品进行清洗处理，去除表面污染物和油脂，以确保观测结果的准确性。将样品固定于样品台上，使用导电胶带确保良好接地。根据样品特性选择合适的加速电压（通常为1–20 kV）、工作距离（WD）以及探针电流，以获得高分辨率的表面形貌图像。在观察过程中，逐步调整放大倍数，从低倍整体形貌入手，逐步过渡到高倍局部细节分析。
仪器名称 | 扫描电子显微镜（SEM） |
|---|---|
测试模式 | 二次电子 |
加速电压 | 5 kV |
放大倍数 | 1000 X |
三、数据分析
图2 SEM形貌图1
SEM分析，间隙宽度测量为9.68 um、9.22 um、9.22 um。
四、结论
统计结果显示，平均间隙宽度为9.35 μm，标准偏差为0.24 μm，表明刻蚀工艺具有较好的一致性和稳定性。此外，通过对线条边缘轮廓的拟合分析，发现边缘较为清晰、无明显熔融或毛刺现象，说明刻蚀过程控制良好，未对金属薄膜造成过度损伤。