椭偏仪

椭偏仪通过测量偏振光在样品表面反射后偏振态的变化（Ψ和Δ参数），基于菲涅尔方程反演计算薄膜厚度与光学常数（n, k）。当线偏振光以特定角度入射样品时，反射光的偏振态会变为椭圆偏振，通过分析振幅比Ψ和相位差Δ，结合光学模型拟合可精确获取薄膜厚度（0.1nm-10μm）及光学常数。

检测能力范围

• Q1：厚度结果异常偏高？ A：常见于表面污染或粗糙度＞5nm，建议重新清洗或AFM验证形貌

• Q2：多层膜拟合不收敛？ A：需分步拟合（先衬底后逐层增加），限制各层参数合理范围

• Q3：液体数据波动大？ A：温度波动＞1℃或溶液蒸发导致，推荐控温池实时监测

• Q4：金属薄膜k值偏差？ A：Drude模型需输入电导率修正，或改用红外椭偏模式

• Q5：透明基底出现干涉条纹？ A：基底厚度不均引起，需切割至＜0.5mm或背面毛化处理

1. 样品制备

   1. 固体样品：超声清洗（丙酮/乙醇）后氮气吹干

   2. 液体样品：注入石英比色皿，静置消泡

2. 上机测试

   1. 设置入射角（默认70°）及波长扫描范围（例：300-800nm）

   2. 光斑校准至样品中心，多次扫描取平均值

3. 结果处理

   1. 使用CompleteEASE软件拟合Ψ/Δ曲线

   2. 选择光学模型（如Cauchy/Lorentz模型）

   3. 验证均方根误差（RMSE＜0.01为优）

4. 输出参数

   1. 厚度值（置信区间±0.2nm）

   2. 折射率n(λ)与消光系数k(λ)谱图